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界面新聞 2019-07-16 17:52:32
《上海市智能制造行動計劃(2019—2021年)》正式發布,提出在集成電路領域,重點以芯片制造、大硅片制備和封裝測試為主攻方向,推動光刻機、刻蝕機等關鍵技術裝備研制和產業化,提升芯片制造產業鏈的智能化和自主可控水平。
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