每經記者 朱成祥    每經編輯 張海妮    

5月14日，無錫高新區與阿斯麥（ASML）簽署戰略合作協議，擴建升級光刻設備技術服務（無錫）基地。 

據了解，阿斯麥（ASML）光刻設備技術服務（無錫）基地涵蓋兩大業務板塊——技術中心和供應鏈服務中心。其中，技術中心擁有近200人規模專業團隊，從事光刻設備的維護、升級等技術服務，面積約2000余平方米；供應鏈服務中心則為客戶提供高效的供應鏈服務，為設備安裝、升級及生產運營等所需的物料提供更高水準的物流支持，面積約2000余平方米。 

眾所周知，光刻機為半導體制造的核心設備，也被譽為“工業皇冠上的寶石”。而ASML在最近十幾年來異軍突起，超越尼康、佳能，成為光刻機領域執牛耳者。目前，最為先進的EUV（極紫外光源）光刻機，全世界僅有ASML一家能夠提供。 

對于ASML在無錫擴建光刻設備服務基地，一位半導體業內人士對《每日經濟新聞》記者表示：“因為光刻機比較‘精密’，所以設備運過來之后，裝調也是相當重要的一個環節。一般大件、精密、高價值（的設備）都得有專人維護著，比如飛機發動機等，需要有定期的檢修之類。（光刻機）出廠，先船運、空運到安裝地，然后放著等待技術人員裝調。以前尼康、佳能的光刻機，光是裝調就需要幾個月，至少不低于1個月。” 

對于裝調的重要性，其表示：“光學設備和其他裝備不大一樣，光學設備一般都有人數較多的裝調團隊，并且裝調也是光學設備里面一項重要工作，ASML在193nm就是靠裝調PK掉了日本的尼康和佳能。” 

該業內人士進一步認為，無錫基地200人的專業技術團隊也不一定夠，“（光刻機）這種嬌貴的東西，一般維護都很費勁”。另外，據其估計，ASML無錫技術服務基地將不僅僅服務無錫，而是整個長三角地區。 

據記者不完全統計，目前長三角先進制程（28nm及以下）半導體工廠有中芯國際上海基地（包括中芯南方14nm）、南京臺積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠、合肥長鑫DRAM工廠等。另外，近期華虹半導體無錫基地12英寸生產線實現了高性能90nm FSI工藝平臺產品投片。

封面圖片來源：攝圖網