每經記者 朱成祥    每經編輯 宋思艱    

10月12日晚間，晶瑞股份（300655，SZ）披露對深交所關注函的回復公告，稱公司擬購買光刻機設備的型號為ASML XT 1900Gi，為ArF浸入式光刻機，可用于研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。

此前，晶瑞股份購買ASML光刻機的消息引發市場熱議，上市公司也因此廣受投資者追捧。9月29日早間，晶瑞股份公告稱，公司將購買一臺光刻機用于光刻膠研發，總價款為1102.5萬美元（約為人民幣7500萬元）。

受此消息影響，9月29日，晶瑞股份股價快速漲停，當天市值暴增13.39億元。股價暴漲也引起深交所注意，9月30日，晶瑞股份收到深交所關注函，要求其說明擬購買光刻機設備的具體用途、資金來源，以及擬購買光刻機設備型號等問題。

9月30日，晶瑞股份股價有所回落，當日下跌5.20%，不過節后上市公司再受追捧，10月9日、10月12日分別上漲4.73%、5.52%。自9月29日早間晶瑞股份發布購買光刻機的消息至10月12日收盤，市值已從67.42億元（9月28日收盤市值）增至84.74億元，區間市值增加17.32億元。

對于深交所所關注的光刻機用途，晶瑞股份表示，擬購買的光刻機設備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目，將有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越，并最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。

從高端光刻膠研發項目具體資金來源來看，第一種是發行可轉債，第二種是自有及自籌資金。項目計劃總投資4.885億元，其中不超過3.13億元擬通過可轉債募集資金解決，其余資金將自籌解決。公司預計光刻機將于2021年上半年內完成運輸并安裝完成。

目前，晶瑞股份光刻膠產品主要應用于半導體、LED、平板顯示等領域。2018年、2019年和2020年1-6月，公司光刻膠產品營收分別為8422.88萬元、7915.78萬元和4307.30萬元，占總營收比重分別為10.39%、10.47%和10.05%。

資料來源：晶瑞股份公告截圖

對于購買光刻機的影響，晶瑞股份表示：“本次購買光刻機可以保障公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目關鍵設備的技術先進性和設備如期到位，對加快項目進度有積極影響。若研發工作進展順利，將有助于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力。”

封面圖片來源：攝圖網