每經記者 朱成祥    每經編輯 張海妮    

10月29日，上交所網站披露茂萊光學審核問詢函回復。茂萊光學曾在招股說明書（申報稿）中表示：“（公司）高精度光學器件應用于光刻機設備中，為客戶提高了國產化率，為光刻機全面國產化提供了關鍵支撐。” 

根據回復函，光刻機相關業務2020年1~3月占營收比重為16.16%。茂萊光學強調國內知名半導體光刻機制造商上海微電子是其核心客戶。但茂萊光學也表示：“截至2020年9月末，除上海微電子裝備（集團）股份有限公司仍有部分逾期應收賬款尚未收回外，其余應收賬款均已收回。”

圖片來源：審核問詢函回復截圖 

提供光刻機關鍵模塊？ 

茂萊光學是精密光學綜合解決方案提供商，專注于精密光學器件、高端光學鏡頭和先進光學系統的研發、設計、制造及銷售。在主營業務介紹中，茂萊光學著重強調產品用于半導體光刻機，表示公司服務于全球半導體光刻機及檢測裝備、生命科學及醫療（如基因測序及核酸檢測）、航空航天、無人駕駛、生物識別、AR/VR檢測設備等應用領域。 

茂萊光學主要有三大業務，分別為精密光學器件、高端光學鏡頭和先進光學系統。2019年，這三大業務營收分別為1.33億元、5523.54萬元和3102.93萬元，占總營收比例分別為59.84%、24.89%和13.98%。 

用于光刻機的核心器件，則是半導體光學透鏡。該產品屬于茂萊光學精密光學器件業務，在公司產品中也是第一個介紹的。茂萊光學表示：“（半導體光學透鏡）用于半導體光刻機光學系統中耦合、中繼照明模塊，是光刻機實現光線均勻性的關鍵模塊。” 

方正證券曾這樣描述光刻機的工作原理：在IC制作過程中，光束穿過掩模及鏡片，經物鏡補償光學誤差，將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上，然后顯影在硅片上。激光器作為光源，物鏡補償光學誤差，是光刻機的核心設備，光刻機物鏡系統一般由近20個直徑為200~300mm的透鏡組成。 

光刻機的構造一般分為照明系統（光源+產生均勻光的光路）、Stage系統（包括Reticle Stage和Wafer Stage）、鏡頭組（光刻機的核心）、搬送系統（Wafer Handler+ Reticle Handler）、Alignment系統（WGA，LSA，FIA）。照明系統是光刻機曝光系統的重要組成部分，只有高質量的照明系統，才可充分發揮曝光系統成像的需要。

圖片來源：茂萊光學招股書（申報稿）截圖 

目前，光刻機“一哥”ASML的鏡片便是以蔡司技術打底，長期以來為ASML的光刻設備提供最關鍵且高效能的光學系統。從這個角度看，茂萊光學對標的是蔡司。 

但茂萊光學列舉的主要競爭對手中，則并沒有蔡司。而是以美國Newport公司（主營激光光源）、德國Jenoptik（主營工業測量技術產品），以及國內的福光股份（主營高端光學鏡頭）、永新光學（主營顯微鏡系統）、福特科（主營精密光學器件）作為競爭對手。

作為茂萊光學在精密光學器件領域的競爭對手，福特科的主要產品包括安防監控鏡頭、高清智能交通鏡頭、機器視覺鏡頭和汽車機載鏡頭。 

打入上海微電子供應鏈，但應收賬款回款較差

在茂萊光學的公司介紹中，其把半導體光刻機及檢測放在一起，但是這兩類產品在技術難度上差距很大。其中，光刻機是前道七大設備之首，而檢測則屬于后道設備。相比于前道光刻機，檢測設備的技術難度要小得多。

圖片來源：茂萊光學招股書（申報稿）截圖 

在半導體檢測及制造領域，茂萊光學主要客戶包括上海微電子、Camtek和CYBEROPTICS等。這三家公司中，僅有CYBEROPTICS兩次出現在三年一期前五大客戶中。根據CYBEROPTICS官網，“（公司是）高精度3D傳感技術解決方案的全球領先開發商和制造商。公司傳感器用于SMT和半導體市場的檢查和計量，可顯著提高良率和生產率。 

這意味著，CYBEROPTICS并非從事光刻機業務，因而茂萊光學三年一期前五大客戶中，沒有一家光刻機廠商。 

而上海微電子則出現在茂萊光學前五大應收賬款名單中。不過，上海微電子的回款情況，卻是主要應收款項債務人中最差的。截至2019年末，茂萊光學對上海微電子應收賬款515.24萬元，應收賬款周轉天數為210天，期后回款比例為76.88%；2020年3月末，公司對上海微電子應收賬款上升至526.16萬元，應收賬款周轉天數進一步上升至698天，期后回款比例為62.94%。

封面圖片來源：攝圖網