每經(jīng)編輯 周宇翔

上海精測半導(dǎo)體7月13日宣布，國內(nèi)首臺12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測量設(shè)備（OCD）與國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）順利出機(jī)。

上海精測半導(dǎo)體介紹，12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測量機(jī)臺(OCD)是該類型的國內(nèi)首臺機(jī)臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測量。EPROFILE 300FD測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機(jī)臺。

圖片來源：上海精測半導(dǎo)體微信公號

配套EPROFILE 300FD，上海精測還同時發(fā)布了新一代電磁場仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;  該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運(yùn)算服務(wù)器上進(jìn)行OCD建模與庫匹配，可以在獲取復(fù)雜三維納米結(jié)構(gòu)光譜變化信息后，實(shí)時高速的對于納米結(jié)構(gòu)的各個維度精確值進(jìn)行計(jì)算。

EPROFILE 300FD和J_ProfilerTM V3.0將為國內(nèi)高節(jié)點(diǎn)產(chǎn)線提供穩(wěn)定、實(shí)時、高速的量測解決方案。

據(jù)介紹，12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）是上海精測半導(dǎo)體的另一項(xiàng)主力產(chǎn)品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關(guān)鍵核心部件均為自主設(shè)計(jì)，自主知識產(chǎn)權(quán)，并用了近兩年的時間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產(chǎn)化供應(yīng)鏈。此次出廠的機(jī)臺配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動缺陷檢測與分類算法，將進(jìn)一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。

圖片來源：上海精測半導(dǎo)體微信公號

另據(jù)精測電子（300567.SZ）7月13日公布的投資者關(guān)系活動記錄表顯示，上海精測半導(dǎo)體本次出機(jī)的上述兩款產(chǎn)品，客戶為中芯國際。

精測電子同時表示，半導(dǎo)體研發(fā)投入巨大，驗(yàn)證周期長，公司預(yù)計(jì)2021年在半導(dǎo)體的部分產(chǎn)品線實(shí)現(xiàn)扭虧，但整體半導(dǎo)體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)盈利仍需要更多時間和努力。

股價(jià)方面，本周前兩個交易日精測電子股價(jià)呈現(xiàn)盤整走勢，周二盤中一度創(chuàng)出去年8月以來新高。此外，該股上周五曾出現(xiàn)20%漲停。