每經訊，據啟信寶，新三板創新層公司硅烷科技（838402）新增專利信息，專利權人為硅烷科技，發明人是梁正、孟國均、李建設、呂永峰、郭蕊、錢光凝、儀得志、陳源茂、劉紀江、丁遠清。專利授權日為2022年7月1日，專利名稱為“一種可促進區熔級多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐”，專利類型為中國實用新型專利，專利申請號為CN202220547708.9。

該專利摘要顯示：本實用新型公開了一種可促進區熔級多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐，包括鐘罩和底座；鐘罩為帶有冷卻介質夾套的雙層結構，其下部為圓筒型、上部為橢圓形型；底座為帶冷卻介質夾套的雙層圓盤形結構；鐘罩扣在底座上，形成甲硅烷熱分解爐的內腔體，且在內腔體中設置有硅棒、甲硅烷供給機構和熱分解冷卻機構，所述硅棒與石墨電極連接，其中熱分解冷卻機構設置在硅棒外側，甲硅烷供給機構設置在硅棒與熱分解冷卻機構之間；本分解爐通過甲硅烷供給機構和熱分解冷卻機構的設置，能夠實現對硅棒的均勻吹氣和溫度控制，達到相變沉積過程中硅烷均勻供氣與多相界面處反應物均勻分布，進而提高硅棒的生長質量，使生長層致密均一，具有結構簡單、控制效果好的特點。

(記者 周宇翔)

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