2023-03-06 19:20:40
每經AI快訊， 芯源微在接受調研時表示，此前公司首臺浸沒式高產能涂膠顯影機順利運付客戶現場，并完成了各項工藝驗證及光刻機聯機產能驗證。機臺與國際主流光刻機聯機作業，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產驗證，數據均達到客戶量產指標。浸沒式高產能涂膠顯影機的發布，標志著公司在前道涂膠顯影領域實現了對28nm及以上所有工藝節點的全覆蓋，即可實現全面國產替代。
特別提醒：如果我們使用了您的圖片，請作者與本站聯系索取稿酬。如您不希望作品出現在本站，可聯系我們要求撤下您的作品。
歡迎關注每日經濟新聞APP
