每日經濟新聞 2023-03-13 16:22:09
每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好,請問krf光刻膠是否已經進入了量產,客戶通過驗證了沒有?另外,arf光刻機是否21年就已經購入?目前研發進展如何?有沒有缺陷檢測儀等相關設備?今年arf是否可以投入認證?
晶瑞電材(300655.SZ)3月13日在投資者互動平臺表示,公司子公司瑞紅(蘇州)電子化學品股份有限公司共擁有以5臺光刻機為核心的光刻膠研發測試平臺,覆蓋紫外寬譜、g線、i線、KrF及ArF光刻膠檢測,可為公司產品研發測試、客戶驗證等提供全面的核心設備保障。公司KrF高端光刻膠部分品種已量產;ArF高端光刻膠研發工作已啟動。關于公司產品研發和客戶認證進展,請關注公司定期報告等公告。
(記者 陳鵬程)
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