每日經濟新聞 2023-04-21 16:32:01
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司14-28 nm先進制程用的高端Arf-immersion光刻膠進展如何，是否有送樣，什么時候量產？
南大光電（300346.SZ）4月21日在投資者互動平臺表示，公司正在認證的ArF光刻膠主要集中在90nm~28nm工藝節點，目前有多款產品正在下游客戶處驗證。規模量產時間需要根據客戶訂單情況確定。
(記者 王可然)
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