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萬業(yè)企業(yè):目前公司旗下凱世通的離子注入機訂單均為集成電路離子注入機

每日經(jīng)濟新聞 2023-06-13 18:10:06

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:董秘好,請問公司控股的凱世通生產(chǎn)的離子注入機有哪幾款產(chǎn)品,官網(wǎng)看到只有3款,還都是光伏的離子注入機,公司有集成電路的離子注入機?

萬業(yè)企業(yè)(600641.SH)6月13日在投資者互動平臺表示,目前公司旗下凱世通的離子注入機訂單均為集成電路離子注入機。凱世通產(chǎn)品已覆蓋邏輯、存儲、功率等多個應(yīng)用領(lǐng)域方向,是國內(nèi)首家集成電路離子注入機大束流和高能離子注入機獲得驗證驗收的設(shè)備企業(yè),擁有高能離子注入、超低溫離子注入設(shè)備等核心關(guān)鍵機型,且持續(xù)領(lǐng)跑國產(chǎn)低能大束流和高能離子注入機系列產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進程。

(記者 畢陸名)

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