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英杰電氣:公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套,也屬于進口替代產品

每日經濟新聞 2023-07-04 17:08:14

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司在鍺Ge、硅Si等至第四代Ga2O3、金剛石C等半導體材料方面的電源產品是已經有實現銷售了嗎?對應下游客戶是哪一類? 就是公司公眾號文章說,公司在半導體制程電源方面實現了多個產品的進口替代,其中有包括離子注入機、刻蝕機和薄膜沉積設備的電源嗎?

英杰電氣(300820.SZ)7月4日在投資者互動平臺表示,公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套,也屬于進口替代產品,目前該行業主流廠商和公司均有業務。MOVCD設備上的可編程直流電源,公司已經實現多年的進口替代,今年在刻蝕、離子注入等工藝環節也有進口替代的電源研發,目前處于樣機后期測試階段。

(記者 畢陸名)

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