每日經濟新聞 2023-07-14 16:29:43
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司電子特種氣體可用于光刻領域么？
中船特氣（688146.SH）7月14日在投資者互動平臺表示，公司生產的混合氣主要應用于大規模集成電路和顯示面板制造過程中的光刻、退火等多個工藝?；谧陨碚莆盏募兓突炫浼夹g，公司混合氣產品組分純度可達6N，目前已實現30余種電子混合氣的量產供應。
(記者 王可然)
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