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南大光電:正在研發和產業化的ArF光刻膠,主要用于28nm-90nm技術工藝的集成電路芯片制造

每日經濟新聞 2023-09-15 17:20:07

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司生產的光刻膠是否可以用于納米壓印,是否具備相關技術儲備?

南大光電(300346.SZ)9月15日在投資者互動平臺表示,公司正在研發和產業化的ArF光刻膠,主要用于28nm-90nm技術工藝的集成電路芯片制造。

(記者 畢陸名)

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