2023-10-16 14:12:39
每經AI快訊,10月16日,近日,中國散裂中子源(CSNS)探測器團隊利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置,成功制備出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品,單片面積達到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范圍內厚度均勻性優(yōu)于±1.32%,是目前國際上用于中子探測的最大面積的碳化硼薄膜。 (科技日報)
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