2023-10-17 05:34:16
每經AI快訊，記者16日從中國散裂中子源（CSNS）獲悉，CSNS探測器團隊利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置，近日成功制備出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品，單片面積達到1500毫米×500毫米，薄膜厚度1微米，全尺寸范圍內厚度均勻性優于±1.32%，是目前國際上用于中子探測的最大面積的碳化硼薄膜。（科技日報）
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