每經(jīng)AI快訊，2024年1月18日，國(guó)海證券發(fā)布研報(bào)點(diǎn)評(píng)專用設(shè)備行業(yè)。

半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間廣闊

半導(dǎo)體行業(yè)需求回暖疊加中國(guó)大陸晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)長(zhǎng)期有望穩(wěn)健增長(zhǎng)。質(zhì)量控制貫穿晶圓制造全過(guò)程，是芯片生產(chǎn)良率的關(guān)鍵保障，先進(jìn)制程將對(duì)工藝控制水平提出更高要求，量檢測(cè)設(shè)備價(jià)值量有望倍增。我們測(cè)算，2023/2024/2025/2026年全球半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間分別為105/120/138/145億美元，CAGR達(dá)11.5%，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間分別為35/41/48/51億美元，CAGR達(dá)12.8%。

多系統(tǒng)組合有望成為檢測(cè)技術(shù)方向

我們測(cè)算，2022年全球光學(xué)/電子束/X光檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)份額分別為74.2%/19.7%/2.2%，光學(xué)檢測(cè)速度快、無(wú)接觸，然而先進(jìn)節(jié)點(diǎn)檢測(cè)靈敏度有限；電子束檢測(cè)精度較高，然而速率較慢、設(shè)備成本較高；隨著芯片材料和結(jié)構(gòu)復(fù)雜性持續(xù)提升，多系統(tǒng)組合有望成為檢測(cè)技術(shù)方向。

近年量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代正在加速

據(jù)VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)CR5達(dá)82%，KLA歷經(jīng)多次并購(gòu)，產(chǎn)品種類齊全，2020年KLA量檢測(cè)設(shè)備全球市占率達(dá)51%；ASML將量檢測(cè)設(shè)備與EUV系統(tǒng)配套，電子束檢測(cè)設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)顯著，據(jù)the information network，2022年ASLM電子束檢測(cè)設(shè)備全球市占率達(dá)50%。目前量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率較低，本土主要供應(yīng)商包括上海精測(cè)、中科飛測(cè)和睿勵(lì)儀器，2018-2022年三家公司國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額合計(jì)0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地緣因素影響下，量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代正在加速。

關(guān)注本土設(shè)備商新品突破及訂單進(jìn)展

半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備空間廣闊，國(guó)產(chǎn)替代正在加速，建議關(guān)注精測(cè)電子、中科飛測(cè)、中微公司、賽騰股份、天準(zhǔn)科技。1）精測(cè)電子：立足面板檢測(cè)主業(yè)，半導(dǎo)體產(chǎn)品持續(xù)完善，明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)展領(lǐng)先；2）中科飛測(cè)：聚焦量檢測(cè)設(shè)備近十年，納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)等設(shè)備加速研發(fā)；3）中微公司：多次增資睿勵(lì)儀器，量檢測(cè)收入持續(xù)增長(zhǎng)；4）賽騰股份：收購(gòu)日本Optima，布局晶圓檢測(cè)設(shè)備；5）天準(zhǔn)科技：加速布局半導(dǎo)體領(lǐng)域，首臺(tái)明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備已交付客戶試用。首次覆蓋，給予半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)“推薦”評(píng)級(jí)。

風(fēng)險(xiǎn)提示：半導(dǎo)體行業(yè)景氣度復(fù)蘇不及預(yù)期；半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代不及預(yù)期；行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇風(fēng)險(xiǎn)；市場(chǎng)空間測(cè)算偏差風(fēng)險(xiǎn)；重點(diǎn)關(guān)注公司業(yè)績(jī)不及預(yù)期；研究報(bào)告使用的公開(kāi)資料可能存在信息滯后或更新不及時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)等。

(來(lái)源：慧博投研)

免責(zé)聲明：本文內(nèi)容與數(shù)據(jù)僅供參考，不構(gòu)成投資建議，使用前請(qǐng)核實(shí)。據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。

(編輯 曾健輝)