2月29日，A股尾盤上攻，上證指數收漲1.94%，深證成指、創業板指漲逾3%，科創50漲逾4%。半導體產業鏈爆發，光刻機方向領漲。截至今日收盤，半導體材料ETF（562590）收漲8.48%，持續領漲全市場，權重股中微公司漲超10%，北方華創漲近9%。

消息面上，多家半導體材料公司發布業績快報或年報，均超分析師預期。中微公司、盛美上海營收、凈利潤均取得較大幅度增長。

廣發證券指出，近年來，在日益復雜的外部環境下，半導體設備作為“卡脖子”的關鍵技術環節，其重要性不斷提升。作為全球主要半導體設備市場之一，隨著國內晶圓產能的持續擴張，國內半導體設備行業的市場規模有望不斷增長。對于國產半導體設備廠商而言，其驅動力除了行業規模的自然擴張，還包括在國內市場的國產替代。當前半導體設備國產化率持續提升，國產替代驅動的份額提升，將為行業貢獻可觀的成長速度和空間。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357）跟蹤中證半導體材料設備指數，指數中半導體設備（47.92%）、半導體材料（20.99%）占比靠前，合計權重近70%，充分聚焦指數主題。前十大成分股覆蓋半導體設備及材料的各個環節，中微公司、北方華創、滬硅產業、TCL科技、雅克股份均在其中，既有刻蝕機、薄膜積淀、硅片、面板等龍頭，也有近期大熱的光刻膠優勢標的。