截至5月30日14:17，中證半導體材料設備主題指數強勢上漲1.52%，成分股中芯國際上漲6.10%，芯源微上漲5.28%，聯動科技上漲4.04%，華峰測控，南大光電等個股跟漲。半導體材料ETF（562590）上漲1.55%，最新價0.85元，換手率7.54%。

瑞銀證券中國科技硬件行業分析師俞佳表示，考慮到實際募資規模可能大于注冊資本，大基金三期所能帶動對于中國集成電路產業的投資規模至少在4000億~5000億元人民幣或更高。芯片制造領域很可能仍是大基金三期重點投資領域，其中存儲、相對較先進的邏輯、以及與中國優勢下游產業（如電車等）相關的半導體供應鏈端，最有可能獲得資金持續支持。在瑞銀覆蓋的A股板塊中，半導體設備將是大基金三期最受益的子行業。

在國產替代以及需求擴張的催化下，半導體材料的投資具備極高的配置價值。半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357）緊密跟蹤中證半導體材料設備指數，截至最新數據，指數中半導體設備（51.3%）、半導體材料（19.3%）占比靠前，合計權重超70%，充分聚焦指數主題。年初至今，半導體材料ETF（562590）份額增長率達到87%，體現投資者對這一板塊配置信心。